Spin Coater
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CIF匀胶机转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的 。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片,基片,ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。
更新时间:2023-06-15 15:34:30
Spin Coater CIF匀胶机产品特点
v采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶的均一性。
v5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,z多100个阶段。
v内置水平校准装置,保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
v多重安全保护:
»电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;
»盖子自锁功能,防止飞片盖子弹开伤人;
»双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,保证实验人员安全。
v样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。
v一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
v符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品方便。
v不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
v上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置
v可选氮气吹干、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供多的操作便利性。
v适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。
Spin Coater CIF匀胶机技术参数
型号 |
转速(转/分) |
转速稳定度 |
匀胶时间 |
旋涂基片尺寸mm |
外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 |
50-10000 |
±1% |
0-2000秒 |
圆片Φ5-Φ100,方片z大100x100 |
310x260x250 |
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