等离子电源

13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-150W可调

远程等离子源，自动匹配器

清洗室

清洗室尺寸(长X宽X高)Φ150XH150mm

清洗数量

可同时清洗3支TEM样品杆

适配品牌

THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL

气体控制

标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

质量流量计（MFC）美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

电源

220V，50/60Hz，300W

质量保证

二年质保，终身维护

真空泵

Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵

最大入口压力1.0个大气压（0psig），最大出口压力1.4个大气压（6.5psig）

最高抽速60L/min，极限真空3.3 x 10-1 mbar

KF16入口接口